氮化钽（TaN）具有优越的物理、化学及机械性能（如高硬度、耐磨、化学惰性、热稳定性以及低的
电阻温度系数），广泛应用于耐磨涂层、薄膜电阻以及集成电路中的扩散势垒等领域。
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